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据悉阿斯麦新一代光刻机已可量产
5 小时前
2月27日消息，荷兰光刻设备制造商阿斯麦高管称，公司新一代极紫外光刻机已就绪，芯片制造商可投入大规模生产。该设备单价约4亿美元，是初代EUV机型的两倍。阿斯麦首席技术官马尔科·皮特斯表示，该设备已累计加工约50万片硅晶圆，停机时间极短，图案精度符合量产标准。
