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华海清科获得国内首台全自动板级CMP量产装备订单
12 小时前
华海清科近日宣布，其自主研发的国内首台510*515mm尺寸全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX，已成功获得先进封装领域重要客户订单，并将按计划投入客户端产线量产应用。该装备将成为国内首台进入产线的国产全自动板级CMP装备，为我国先进封装及半导体产业自主可控补齐关键一环。此次突破也标志着华海清科CMP装备技术从晶圆级向板级延伸取得重要进展。
