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阿斯麦与荷兰应用科学研究组织TNO合作推进光子芯片量产
3 小时前
6月24日消息，阿斯麦(ASML.O)与荷兰应用科学研究组织（TNO）宣布合作，共同推进光子芯片产业化。合作将基于TNO在荷兰埃因霍温高科技园区建设的光子芯片试验生产线展开，ASML将分阶段提供DUV和I-Line光刻设备等制造技术支持。项目投产后，该工厂将实现6英寸晶圆规模的磷化铟（InP）光子芯片量产。
