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消息称三星电子加速1.4nm先进制程研发 深化与应材、泛林合作
3 小时前
6月30日消息，据韩媒the bell当地时间26日报道，三星电子正重新加快1.4nm（SF1.4）工艺节点的研发进程。该先进制程原计划于2027年量产，后因晶圆代工业务重心调整，量产时间推迟至2029年。报道称，三星电子近期已向应用材料、泛林研究等主要半导体设备企业分享了SF1.4工艺方案，期望上下游协同，加速打造最适合该节点的设备组合，涵盖标准设备的定制化版本。此外，三星电子已从ASML引进High NA EUV光刻图案化设备，并部署在NRD-K半导体研发综合体中。预计该光刻机最早将在SF1.4节点投入生产。
