中科飞测华中研发生产基地落户光谷
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近日,国内半导体质量控制设备企业中科飞测(688361)的华中研发生产基地项目落户武汉未来科技城,该项目聚焦于明场及暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备的研发。