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Science 评价「范式转变」：新金属蒸镀方法，让二维晶体管性能大幅提升
9 小时前
湖南大学柳畅副教授团队联合多单位研发出Step-Eva分步蒸镀技术。该技术将金属蒸镀改为每次蒸镀约0.5纳米后停顿5分钟的循环模式，利用时间域解耦的弛豫外延机制，使金属原子充分迁移重排，实现金属电极从多晶到单晶的转变。此技术制备的二维晶体管性能较传统方法提升约两个数量级，接触电阻仅为传统方法的三分之一，且适用于多种金属和二维半导体材料，薄至8纳米仍能保持完整导电。目前研究处于实验室阶段，未来有望助力芯片更小、更快、更省电，团队正考虑与企业合作推进设备开发和工艺放大。
