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芯米半导体“一种掩模板清洗机的夹持机构”专利获授权
2024-12-11
芯米（厦门）半导体设备有限公司近日获得一项名为“一种掩模板清洗机的夹持机构”的专利，授权公告号为CN111880369B，该专利的申请日期为2020年7月31日，并于2024年11月5日正式授权公告。该专利旨在优化掩模板清洗机的夹持机构，提高工作效率和调节准确度。
