搜索
鲁汶仪器“一种等离子体密度控制系统及方法”专利获授权
2024-12-11
江苏鲁汶仪器股份有限公司近日获得“一种等离子体密度控制系统及方法”专利，授权公告号CN114724914B，公告日2024年11月5日，申请日为2021年1月4日。该专利包括离子源、反应腔室等机构，能测量离子束密度并实时控制等离子体密度，解决刻蚀不均匀问题，降低生产成本。
