英特尔(Intel)正式揭开亚利桑那州Fab厂神秘面纱,宣示将成为美国先进芯片制造的关键推手。其中,位于钱德勒市Ocotillo园区的Fab 52已导入4台荷商艾司摩尔(ASML)极紫外光(EUV)光刻机设备,并预留两座再扩充空间,未来可依客户需求随时「上膛」扩产。现阶段Fab 52已投入Intel 18A最新处理器的量产。
英特尔CEO陈立武近期亲赴亚利桑那视察,外界解读,凭借他与全球芯片大厂的良好关系,英特尔有望吸引更多外部客户代工,重塑全球晶圆制造版图。
Ocotillo园区是英特尔经营超过45年的重镇,从早期的Fab 12到2021年动土的Fab 52,累计投资已超过500亿美元。实地走入量产中的Fab 52,可见头顶的OHT(自动天车)系统高速运转,生产下一代Panther Lake与Clearwater Forest晶片。最醒目的是三层楼高的第三代EUV设备,为容纳这「生产巨兽」,厂房特别加高设计。
据设备业者透露,该EUV机台每小时产能(WPH)约为195片晶圆,后续可提升至220片。 Intel 18A月产能预估将于年底起以每月1,000至5,000片速度拉升(ramp-up),2026年上看1万至1.5万片,2027年后可达3万片水准,并预留再添两台EUV的空间。
据了解,完成前段制程的晶圆,将送往新墨西哥州封装厂进行后段制程,实现「全美制造(Made in USA)」的芯片生产链。