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北方华创“一种晶圆位置检测装置及半导体设备”专利公布
2025-01-20
北京北方华创微电子装备有限公司公布了一项名为“一种晶圆位置检测装置及半导体设备”的专利，申请公布号为CN119132999A，公布日期为2024年12月13日。该专利通过上下设置的环形滑轨和线性传感器，实现了晶圆圆心位置的精确检测，解决了工艺腔室密封难和需冷却系统的问题。
