昊华科技:部分特气产品国内占有率达60%,正研制光刻用电子混配气产品
4 天前

昊华科技在互动易平台透露,其旗下昊华气体拥有国家重要的特种气体研究生产基地,产品涵盖电子特种气体、电力绝缘气体等数十种,主要产品包括三氟化氮、四氟化碳等,总产能达万吨级。部分产品国内市场占有率高达60%,主要应用于集成电路、平板显示和太阳能光伏等领域。目前,公司正研制光刻用电子混配气产品。