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苏州极紫外半导体有限公司推出独创三束等离子体耦合 DPP-EUV 光源样机差异化路线破解国产光刻光源卡脖子难题

2026-07-16

近日，苏州极紫外半导体发布自研三束等离子体耦合DPP极紫外（13.5nm EUV）光源工程样机，通过梯度构型电极等设计提升光源功率与稳定性，为EUV光刻提供工业化应用潜力方案。

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