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芯碁微装“曝光总成及具有其的光刻设备”专利公布
2025-01-14
合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的“曝光总成及具有其的光刻设备”专利已公布，申请公布号为CN119126500A，日期为2024年10月13日。该专利通过曝光总成内的分束器反射分解光线，实时监测并调整曝光性能，以提升曝光效果和效率。
